سیستم خلاء در میکروسکوپ الکترونی روبشی
نیاز به سیستم خلاء در میکروسکوپ های الکترونی (Vacuum System in SEM)، از یک تفاوت عمده نور و الکترون نشأت می گیرد. الکترون ها در محیط های گازی به شدت متفرق می شوند، در حالی که تفرق نور در محیط های مشابه، بسیار کمتر از الکترون است.